本发明涉及一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅双相超硬涂层及其沉积方法,超硬涂层为四层结构:最内层为纯铌粘结层,厚度为0.05‑0.5微米;次内层为氮化铌过渡层,厚度为0.05‑1.0微米;次外层为梯度层,由内向外氮化铌成分逐渐降低、氮化铌铝钇/氮化硅成分逐渐提高,厚度约0.1‑1.0微米,可防止应力界面上的集中;最外层为氮化铌铝钇/氮化硅复合耐磨层,厚度为1‑10微米;涂层总厚度1.2‑12.5微米。
涂层和硬质合金基体结合力达70‑105N,涂层硬度40‑60GPa,摩擦系数0.20‑0.55,涂层抗氧化温度达750℃以上,涂覆微钻或铣刀寿命比未涂覆微钻或铣刀提高4‑8倍。
李明升 张琳英 易家骏 陈土春 吴志诚
江西科技师范大学
330100 江西省南昌市新建区南昌市经济技术开发区枫林大道605号
本发明涉及一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅双相超硬涂层及其沉积方法,超硬涂层为四层结构:最内层为纯铌粘结层,厚度为0.05‑0.5微米;次内层为氮化铌过渡层,厚度为0.05‑1.0微米;次外层为梯度层,由内向外氮化铌成分逐渐降低、氮化铌铝钇/氮化硅成分逐渐提高,厚度约0.1‑1.0微米,可防止应力界面上的集中;最外层为氮化铌铝钇/氮化硅复合耐磨层,厚度为1‑10微米;涂层总厚度1.2‑12.5微米。
涂层和硬质合金基体结合力达70‑105N,涂层硬度40‑60GPa,摩擦系数0.20‑0.55,涂层抗氧化温度达750℃以上,涂覆微钻或铣刀寿命比未涂覆微钻或铣刀提高4‑8倍。