本发明提供了一种晶体原料盛载装置及晶体生长装置,涉及晶体生长设备的技术领域,晶体原料盛载装置包括依次水平相邻紧靠设置的多个承载单元,多个承载单元中包括对应于远离籽晶承载装置上的籽晶的小平面的一端设置的第一承载单元;沿远离籽晶的小平面的一端向靠近籽晶的小平面的一端的方向,从第一承载单元至位于第一承载单元靠近籽晶的小平面的一侧的承载单元,每个承载单元能够承载的原料的高度依次降低;本发明能够降低小平面位置的多型转变几率,提高晶体良率。
陈泽斌 王旻峰 廖弘基 陈华荣
福建北电新材料科技有限公司
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本发明提供了一种晶体原料盛载装置及晶体生长装置,涉及晶体生长设备的技术领域,晶体原料盛载装置包括依次水平相邻紧靠设置的多个承载单元,多个承载单元中包括对应于远离籽晶承载装置上的籽晶的小平面的一端设置的第一承载单元;沿远离籽晶的小平面的一端向靠近籽晶的小平面的一端的方向,从第一承载单元至位于第一承载单元靠近籽晶的小平面的一侧的承载单元,每个承载单元能够承载的原料的高度依次降低;本发明能够降低小平面位置的多型转变几率,提高晶体良率。