本实用新型提供一种分布式导流筒，包括压缩空气管，混合器，法兰盘，喷筒和惰性气体管，本实用新型混合器的设置，加快了混合气体的流速，提高了惰性气体对单晶硅的吹扫速度，提高单晶硅的生长速度；气体分流器的设置，气体分流器设置为空心式，且外表面开设有多个通风孔，气体分流器能够对混合气体进行分流，通过通风孔提高混合气体对单晶硅的吹扫均匀性，提高单晶硅的生长速度；混合器和喷筒的外部包裹有玻璃纤维丝，实现了导流筒的保温，使单晶硅上涨温度保持稳定，确保单晶硅棒的生产质量。

肖岛 祝广蕾 韩磊 白雪洁 于艳丽 王伟亮

山东北成环境工程有限公司

250000 山东省济南市济阳县曲堤北城工业园8号

本实用新型提供一种分布式导流筒，包括压缩空气管，混合器，法兰盘，喷筒和惰性气体管，本实用新型混合器的设置，加快了混合气体的流速，提高了惰性气体对单晶硅的吹扫速度，提高单晶硅的生长速度；气体分流器的设置，气体分流器设置为空心式，且外表面开设有多个通风孔，气体分流器能够对混合气体进行分流，通过通风孔提高混合气体对单晶硅的吹扫均匀性，提高单晶硅的生长速度；混合器和喷筒的外部包裹有玻璃纤维丝，实现了导流筒的保温，使单晶硅上涨温度保持稳定，确保单晶硅棒的生产质量。