本发明提供一种多晶硅棒。
通过FZ法使多晶硅棒单晶化时，不会发生错位且能够稳定地进行单晶化时的控制。
多晶硅棒(11)具有多晶硅构成的种棒(11a)、以及在该种棒(11a)的外周面通过CVD法析出的多晶硅析出体(11b)。
该多晶硅棒(11)被用作通过FZ法制备硅单晶的原料。
另外，多晶硅棒(11)的直径为77mm以下，用光学显微镜以相对于种棒(11a)的轴线正交的截面观察多晶硅棒(11)时，长度为288μm以下且上述截面中的占有面积比例为78％以上的针状结晶在多晶硅析出体(11b)中以种棒(11a)为中心放射状地均匀分布。

海东良一

三菱综合材料株式会社

日本东京

本发明提供一种多晶硅棒。
通过FZ法使多晶硅棒单晶化时，不会发生错位且能够稳定地进行单晶化时的控制。
多晶硅棒(11)具有多晶硅构成的种棒(11a)、以及在该种棒(11a)的外周面通过CVD法析出的多晶硅析出体(11b)。
该多晶硅棒(11)被用作通过FZ法制备硅单晶的原料。
另外，多晶硅棒(11)的直径为77mm以下，用光学显微镜以相对于种棒(11a)的轴线正交的截面观察多晶硅棒(11)时，长度为288μm以下且上述截面中的占有面积比例为78％以上的针状结晶在多晶硅析出体(11b)中以种棒(11a)为中心放射状地均匀分布。