本发明涉及一种硒化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将硒化锌晶片的边角料放在石英坩埚中，将石英坩埚装入反应器，首先向反应器中通入氮气，且使得反应器内的温度升温到800~900℃，保温第一预设时间，然后切换成向反应器中通入氧气，持续通入第二预设时间，随即切换成向反应器中通入氮气，关闭加热，随炉降温，得到原料；（2）将步骤（1）得到的原料在无水乙醇中超声清洗第三预设时间，取出，干燥得到清洗料；（3）将步骤（2）得到的清洗料破碎成细粉；（4）将步骤（3）得到的细粉进行热压，出炉，卸压脱模，即得硒化锌靶材。
本发明同时涉及采用上述制备方法制备得到的硒化锌靶材，本制备方法制得的硒化锌靶材纯度和密度均较高。

文崇斌 朱刘 童培云 余芳

先导薄膜材料(广东)有限公司

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

本发明涉及一种硒化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将硒化锌晶片的边角料放在石英坩埚中，将石英坩埚装入反应器，首先向反应器中通入氮气，且使得反应器内的温度升温到800~900℃，保温第一预设时间，然后切换成向反应器中通入氧气，持续通入第二预设时间，随即切换成向反应器中通入氮气，关闭加热，随炉降温，得到原料；（2）将步骤（1）得到的原料在无水乙醇中超声清洗第三预设时间，取出，干燥得到清洗料；（3）将步骤（2）得到的清洗料破碎成细粉；（4）将步骤（3）得到的细粉进行热压，出炉，卸压脱模，即得硒化锌靶材。
本发明同时涉及采用上述制备方法制备得到的硒化锌靶材，本制备方法制得的硒化锌靶材纯度和密度均较高。