一种金属有机化合物供料控制系统
摘要文本
本发明涉及半导体制造技术领域，具体为一种金属有机化合物供料控制系统，包括金属有机化合物存储罐，其特征在于该金属有机化合物存储罐顶部同时与载气管道与输出管道连通，载气管道上依次向外设置进气手动阀、单向止回阀、一号三通气动阀和二号三通气动阀、电动压力调节器、载气纯化系统和载气颗粒过滤系统；二号三通管道同时还与真空管道连接；输出管道上依次向外设置出气手动阀、三号三通气动阀、气动阀以及反应腔室；三号三通气动阀与一号三通气动阀相互连通。该系统解决了载气携带颗粒杂质、水汽和氧气等导致的管道堵塞以及工艺产品质量问题。
申请人信息
- 申请人:云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
- 申请人地址:650223 云南省昆明市五华区教场东路31号
- 发明人: 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种金属有机化合物供料控制系统 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811324773.X |
| 申请日 | 2018年11月8日 |
| 公告号 | CN109457233B |
| 公开日 | 2024年1月9日 |
| IPC主分类号 | C23C16/18 |
| 权利人 | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 发明人 | 白月东; 周允红; 杨炜平; 杨丽丽; 朱亚安; 谭懿嵘; 吴刚 |
| 地址 | 云南省昆明市五华区教场东路31号 |
专利主权项内容
1.一种金属有机化合物供料控制系统，包括金属有机化合物存储罐(1)，其特征在于该金属有机化合物存储罐(1)顶部同时与载气管道(2)与输出管道(3)连通，其中：载气管道(2)延伸至金属有机化合物存储罐(1)底部上方，载气管道(2)依次向外设置进气手动阀(4)、单向止回阀(5)、一号三通气动阀(6)和二号三通气动阀(7)、电动压力调节器(8)、载气纯化系统(9)和载气颗粒过滤系统(10)；二号三通管道同时还与真空管道(11)连接，真空管道(11)上设置有气动阀；输出管道(3)上依次向外设置出气手动阀(12)、三号三通气动阀(13)、气动阀以及反应腔室(14)；三号三通气动阀(13)与一号三通气动阀(6)相互连通；载气纯化系统(9)由水汽检测仪(9-1)、水汽去除装置(9-2)、氧气检测仪(9-3)、氧气去除装置(9-4)以及气动阀组成：水汽检测仪(9-1)和氧气检测仪(9-3)串联在载气管道(2)上，水汽检测仪(9-1)和氧气检测仪(9-3)间还设置有间接管道，间接管道上设置水汽去除装置(9-2)；氧气检测仪(9-3)和电动压力调节器(8)间还设置有间接管道，间接管道上设置氧气去除装置(9-4)；所述的水汽检测仪(9-1)、氧气检测仪(9-3)以及电动压力调节器(8)间设置有气动阀，水汽去除装置(9-2)和氧气去除装置(9-4)的进气端和出气端均设置有气动阀；载气颗粒过滤系统(10)由激光粒子计数仪(10-1)、颗粒过滤器(10-2)以及气动阀组成：激光粒子计数仪(10-1)串联在载气管道(2)上，激光粒子计数仪(10-1)和水汽检测仪(9-1)间还设置有间接管道，间接管道上设置颗粒过滤器(10-2)；所述的激光粒子计数仪(10-1)和水汽检测仪(9-1)间设置有气动阀，颗粒过滤器(10-2)的进气端和出气端均设置有气动阀。 来自：