一种真空泵及使用方法
摘要文本
本发明公开了一种真空泵及使用方法，包括泵体，所述泵体内部设置有安装腔，所述安装腔内部安装有活塞，所述活塞将安装腔分隔为第一外腔室和第二外腔室，所述活塞内部设置有活塞腔，所述活塞腔内安装有活塞定位轴，所述活塞定位轴上设置有固定板，所述固定板将活塞腔分隔为第一内腔室和第二内腔室，所述活塞定位轴内安装有阀芯杆，所述阀芯杆和所述活塞连接有驱动装置，所述驱动装置驱动所述活塞在所述安装腔内往复运动，所述驱动装置驱动所述阀芯杆在所述活塞定位轴内往复运动。本发明通过设置有活塞、活塞定位轴和阀芯杆，将泵体分隔为四个腔室，可实现较高的真空度，整体结构简单，使用较为方便，同时零件制作方便，降低了成本。
申请人信息
- 申请人:北京中素钛合真空等离子技术研究所
- 申请人地址:100085 北京市海淀区西二旗西路2号院84号楼1层单元05
- 发明人: 北京中素钛合真空等离子技术研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种真空泵及使用方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311646400.5 |
| 申请日 | 2023/12/4 |
| 公告号 | CN117662421A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | F04B37/14 |
| 权利人 | 北京中素钛合真空等离子技术研究所 |
| 发明人 | 姜文; 黄峥嵘; 慕龙; 王焱 |
| 地址 | 北京市海淀区西二旗西路2号院84号楼1层单元05 |
专利主权项内容
1.一种真空泵，包括泵体(1)，所述泵体(1)内部设置有安装腔，其特征在于，所述安装腔内部安装有活塞(2)，所述活塞(2)将安装腔分隔为第一外腔室(8)和第二外腔室(12)，所述第一外腔室(8)由所述泵体(1)内壁与所述活塞(2)头部之间的空间形成，所述第二外腔室(12)由所述泵体(1)内壁与所述活塞(2)尾部之间的空间形成；所述活塞(2)内部设置有活塞腔，所述活塞腔内安装有活塞定位轴(3)，所述活塞定位轴(3)上设置有固定板(38)，所述固定板(38)将活塞腔分隔为第一内腔室(9)和第二内腔室(10)，所述第一内腔室(9)由所述活塞(2)内壁与所述固定板(38)前侧之间的空间形成，所述第二内腔室(10)由所述活塞(2)内壁与所述固定板(38)后侧之间的空间形成；所述活塞定位轴(3)内安装有阀芯杆(4)，所述阀芯杆(4)和所述活塞(2)连接有驱动装置，所述驱动装置驱动所述活塞(2)在所述安装腔内往复运动，以及，所述驱动装置驱动所述阀芯杆(4)在所述活塞定位轴(3)内往复运动。 来源：马 克 团 队