消减热漫散射和非弹性散射的扫描透射衍射方法及装置

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本申请涉及一种消减热漫散射和非弹性散射的扫描透射衍射方法及装置，其中，方法包括：采集二维样品平面内规律排列或随机分布的扫描点的会聚束衍射信息，并根据会聚束衍射信息得到包含有扫描位置和扫描位置对应衍射信息的实验数据；根据实验数据计算位置平均的会聚束衍射，并在实验数据中每个扫描位置减去会聚束衍射，得到数据集；在四维扫描透射衍射分析或叠层成像的重构过程中减去会聚束衍射，使得利用数据集进行分析或重构，获得样品的结构信息，以消减实验数据中热漫散射和非弹性散射的贡献。由此，解决了相关技术中，由于热漫散射和非弹性散射对叠层成像技术的影响，导致重构过程存在误差，降低了结构分析精度和厚样品的叠层重构效率等问题。