一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法

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本发明涉及材料性能测试技术领域，具体涉及一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法，分子泵涡轮材料蠕变测试装置包括：测试架安装分子泵，在分子泵内设有涡轮；分子泵设有的气体入口适于通入气体；测试盖板固定设置于测试架上；红外测试单元安装至测试盖板上，红外测试单元获取涡轮表面的温度；本申请通过开发设计专用测试装置，针对分子泵产品中的关键零件：涡轮进行材料蠕变测试，使用实际成型的涡轮在分子泵中进行检测，能够真实反映涡轮材料在实际使用中不同状态下涡轮材料的蠕变特性，进而获得分子泵涡轮材料性能的试验数据；真实反映涡轮材料的蠕变特性。