一种抗离子流干扰的谐振式静电场传感器及测量装置

专利主权项内容

1.一种抗离子流干扰的谐振式静电场传感器，其特征在于，所述谐振式静电场传感器包括敏感结构、第一电场感应电极和第二电场感应电极；所述敏感结构包括器件层；所述器件层包括：支撑梁、可变电容结构、第一驱动电极和第二驱动电极；所述可变电容结构包括：第一固定电极、第二固定电极和可动电极；所述第一驱动电极和所述第二驱动电极均包括固定部分和可动部分；所述支撑梁的两端分别与第一驱动电极和第二驱动电极的可动部分连接；所述第一固定电极和所述第二固定电极分别设置于所述支撑梁的两侧；所述可动电极固定设置在所述支撑梁上，所述可动电极分别与所述第一固定电极和所述第二固定电极交叉设置；所述第一电场感应电极与所述第一固定电极连接，所述第二电场感应电极与所述第二固定电极连接；测量时，所述谐振式静电场传感器设置于待测的静电场中，根据电压与静电场的关系式，通过测量第一电场感应电极和/或第二电场感应电极的输出电压进行静电场的测量。