一种下限为5×10-18Pa·m3/s的流量计及其使用方法
摘要文本
本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。。
申请人信息
- 申请人:北京东方计量测试研究所
- 申请人地址:100086 北京市海淀区知春路82号1001室
- 发明人: 北京东方计量测试研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种下限为5×10-18Pa·m3/s的流量计及其使用方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311352968.6 |
| 申请日 | 2023/10/18 |
| 公告号 | CN117490783A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | G01F1/34 |
| 权利人 | 北京东方计量测试研究所 |
| 发明人 | 卢耀文; 董云宁; 丁双; 张湧颀; 姚雪琦; 陈俊儒; 李京; 康朋伟; 豆运来 |
| 地址 | 北京市海淀区知春路82号1001室 |
专利主权项内容
1.一种下限为5×10Pa·m/s的流量计，其特征在于，包括分子流导取气模块、压力取气模块和分子流导供气模块；-183所述分子流导取气模块包括第一气瓶(Gas1)、第一阀门(V1)、第二阀门(V2)、第一真空室(VC1)、第三阀门(V3)和第一高真空泵机组(Pump1)、第四阀门(V4)、第一标准流导元件(f1)和第五阀门(V5)，所述第一真空室(VC1)上安装有第一真空计(G1)和第二真空计(G2)；所述压力取气模块包括第二气瓶(Gas2)、第八阀门(V8)、第七阀门(V7)、第六阀门(V6)、第三真空室(VC3)、第九阀门(V9)和第二高真空泵机组(Pump2)，所述第三真空室(VC3)上安装有第五真空计(G5)和第六真空计(G6)；所述分子流导供气模块包括第二真空室(VC2)、第十阀门(V10)、第二标准流导元件(f2)、第十一阀门(V11)、第四真空室(VC4)、第十二阀门(V12)、第三高真空泵机组(Pump3)和第十三阀门(V13)，所述第二真空室(VC2)上安装有第三真空计(G3)和第四真空计(G4)，所述第四真空室(VC4)上安装有第七真空计(G7)；所述第一高真空泵机组(Pump1)包括第一分子泵(TMP1)和第一涡流泵(RP1)，所述第二高真空泵机组(Pump2)包括第二分子泵(TMP2)和第二涡流泵(RP2)，所述第三高真空泵机组(Pump3)包括第三分子泵(TMP3)和第三涡流泵(RP3)。 微信公众号马克 数据网