采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法
摘要文本
本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
申请人信息
- 申请人:北京东方计量测试研究所
- 申请人地址:100086 北京市海淀区知春路82号1001室
- 发明人: 北京东方计量测试研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311355171.1 |
| 申请日 | 2023/10/18 |
| 公告号 | CN117419996A |
| 公开日 | 2024/1/19 |
| IPC主分类号 | G01N1/38 |
| 权利人 | 北京东方计量测试研究所 |
| 发明人 | 卢耀文; 王欢; 杨传森; 张湧颀; 姚雪琦; 田虎林; 柏向春; 陈俊儒; 丁双; 王汐月; 康朋伟 |
| 地址 | 北京市海淀区知春路82号1001室 |
专利主权项内容
1.一种采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置，包括依次连接的微量气体取样管路、混合气体管路以及其他气体取样管路，其特征在于，所述微量气体取样管路包括顺序连接的第一气瓶(Gas1)、第一阀门(V1)、第二阀门(V2)、第一真空室(VC1)、第三阀门(V3)和第一高真空泵机组(Pump1)，且所述第一真空室(VC1)上安装有第一真空计(G1)和第二真空计(G2)；所述混合气体管路包括第四阀门(V4)、标准流导元件(f)、第五阀门(V5)、第二真空室(VC2)、第六阀门(V6)、第七阀门(V7)、第八阀门(V8)和第十二阀门(V12)，且所述第二真空室(VC2)上安装第三真空计(G3)和第四真空计(G4)；所述其他气体取样管路包括顺序连接的第二气瓶(Gas2)、第十一阀门(V11)、第九阀门(V9)、第三真空室(VC3)、第十阀门(V10)和第二高真空泵机组(Pump2)，所述第三真空室(VC3)上安装第五真空计(G5)和第六真空计(G6)；所述第一真空室(VC1)与所述第四阀门(V4)连接，所述第二真空室(VC2)通过所述第七阀门(V7)、所述第八阀门(V8)和所述第十二阀门(V12)与所述第三真空室(VC3)连接，且所述第七阀门(V7)、所述第八阀门(V8)和所述第十二阀门(V12)并联。