基于扫描衍射图的局域轨道函数三维重构方法及装置

摘要文本

本申请涉及三维成像技术领域，特别涉及一种基于扫描衍射图的局域轨道函数三维重构方法及装置，其中，方法包括：采集目标样品在多个倾转角度下的扫描衍射图集，计算多个倾转角度下所有片层中的每个倾转角度下每个片层中的投影势函数和每个倾转角度下的照明函数，构建扫描衍射图集中每个扫描点的出射函数，并计算目标损失函数，得到目标最优参数集，以利用目标最优参数集得到目标样品的三维重构结果。本申请实施例可以利用局域轨道函数的集合表示目标样品，并优化局域轨道函数和照明函数的各参数，以匹配实验采集的扫描衍射图集，实现对样品漂移、倾转误差的校正，得到更精确的三维重构结果，提高了三维重构的效率和空间分辨率。