← 返回列表
一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法
摘要文本
本发明公开一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。本发明采用垂直驱动单元实现离面振动调制被测电场，使感应电极可以产生较大的感应电流，提升了电场传感器的灵敏度和分辨力。。来源：百度搜索专利查询网
申请人信息
- 申请人:北京信息科技大学
- 申请人地址:100192 北京市海淀区清河小营东路12号
- 发明人: 北京信息科技大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311500694.0 |
| 申请日 | 2023/11/13 |
| 公告号 | CN117517803A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | G01R29/12 |
| 权利人 | 北京信息科技大学 |
| 发明人 | 杨鹏飞; 王若航 |
| 地址 | 北京市海淀区清河小营东路12号 |
专利主权项内容
1.一种垂直调制的谐振式电场传感器，其特征在于，所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。