一种低温漂谐振式电场传感器及其调控方法

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本发明提供了一种低温漂谐振式电场传感器及其调控方法，属于电场传感器领域，该传感器包括：感应电极1、振动结构2、驱动电极3、反馈电极4、位置检测元件5和电路板6；其中，感应电极1、振动结构2和位置检测元件5固定在所述电路板6上；驱动电极3和反馈电极4布置在振动结构2上；感应电极1用于产生感应电荷；驱动电极3用于在施加电信号时产生机械应力或应变，驱动振动结构2振动；反馈电极4用于在产生机械应力或应变时，产生电信号，反应振动结构2的振动参数。本发明中的传感器可自动工作在谐振频率处、自动调整驱动电压，补偿环境引起的谐振频率变化、驱动力和振动幅度变化，使灵敏度保持相对稳定，减少灵敏度的漂移。