一种高精度位移传感器数字化检测装置

专利主权项内容

1.一种高精度位移传感器数字化检测装置，其特征在于，包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件，所述升降基础组件包括底座、立柱、精密升降机构、精密传动机构、传动机构安装座、精密微调机构、升降底座、导向机构、升降导向支撑柱、精密工作台；所述立柱安装在所述底座上，所述精密升降机构安装于所述立柱上，能够沿着所述立柱往复上下运动；所述精密微调机构固定在所述底座上，所述精密微调机构的顶端与所述精密传动机构的一端接触，所述精密传动机构的另一端与所述升降底座相接触，所述精密传动机构为杠杆结构，杠杆臂支点与所述传动机构安装座接触，所述传动机构安装座安装在所述底座上；所述升降底座位于所述精密传动机构的另一端的上部，与所述升降导向支撑柱相连接，所述精密工作台安装在所述升降导向支撑柱的上方，所述导向机构固定在所述底座上，所述升降导向支撑柱能够在所述导向机构中滑动，所述升降导向支撑柱与所述导向机构配合实现所述精密工作台的上下垂直运动，使所述精密工作台与待检位移传感器的测头相接触；所述夹持组件安装在所述精密升降机构上，用于紧固待检位移传感器，待检位移传感器用于检测所述精密工作台的位移变化量；所述激光干涉组件安装在所述精密工作台的下方，能够通过所述精密工作台的运动产生干涉光的变化量，从而得到所述精密工作台的位移变化量。