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PBN制品的制造方法
摘要文本
本公开提供了一种PBN制品的制造方法，包括：将石墨材料的粗模具进行第一烘干；对第一烘干后的所述粗模具进行抛光，得到细模具；以所述细模具为沉积模具，在所述细模具的沉积面上沉积形成PBN涂层；通过加热器控制沉积炉内的温度，以按预设降温策略进行降温。本公开的方法能够改善PBN制品变形的情况。
申请人信息
- 申请人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司; 博宇(天津)半导体材料有限公司; 博宇(朝阳)半导体科技有限公司
- 申请人地址:101149 北京市通州区工业开发区
- 发明人: 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司; 博宇(天津)半导体材料有限公司; 博宇(朝阳)半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | PBN制品的制造方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311292220.1 |
| 申请日 | 2023/10/8 |
| 公告号 | CN117328020A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | C23C14/06 |
| 权利人 | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司; 博宇(天津)半导体材料有限公司; 博宇(朝阳)半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 王军勇; 何军舫 |
| 地址 | 北京市通州区工业开发区; 天津市宝坻区中关村大道与西环北路交口中关村科技城展示中心220室; 辽宁省朝阳市喀喇沁左翼蒙古族自治县经济开发区 |
专利主权项内容
1.一种PBN制品的制造方法，其特征在于，包括：将石墨材料的粗模具进行第一烘干；对第一烘干后的所述粗模具进行抛光，得到细模具；以所述细模具为沉积模具，在所述细模具的沉积面上沉积形成PBN涂层；通过加热器控制沉积炉内的温度，以按预设降温策略进行降温。