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一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置及系统
摘要文本
本发明涉及半导体机构技术领域，尤其涉及一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置及系统，支撑装置包括支撑结构、第一结构、第二结构以及支撑板。支撑结构内的部分结构中设有预设角度的刚性结构，用于形成复制光栅槽型，以对复制光栅槽型的整体的至少一部分进行固定。第一结构设置于支撑结构的两侧，对支撑结构的整个主体起到支撑作用。第二结构对于不同尺寸的复制光栅槽型的自由度进行定位锁死。支撑板的一端连接刚性结构的可转动的第一连接点，另一端为连接第一结构的可转动的第二连接点。第二结构设置于支撑板的对应两侧的不同位置，以控制复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。本申请的支撑装置，保证复制光栅与母版光栅之间槽型的一致性。
申请人信息
- 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 发明人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置及系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311482350.1 |
| 申请日 | 2023/11/8 |
| 公告号 | CN117464595A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | B25B11/00 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 发明人 | 赵络欣; 吉日嘎兰图; 李文昊; 王耕; 常雯娟 |
| 地址 | 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号 |
专利主权项内容
1.一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑装置包括：支撑结构，所述支撑结构内的部分结构中设有第一预设角度的刚性结构，所述刚性结构用于形成复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的至少一部分进行稳定固定；第一结构，设置于所述支撑结构的两侧，所述第一结构用于对所述支撑结构的整个主体起到支撑作用；第二结构，所述第二结构对于不同尺寸的所述复制光栅槽型的自由度进行定位锁死；支撑板，所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点，所述支撑板的另一端为连接所述第一结构的可转动的第二连接点，其中，所述第二结构设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。 来自：马 克 团 队