一种针对实验批次的制程参数动态管理方法

专利主权项内容

1.一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，包括制造执行系统，其特征在于，所述制程参数动态管理方法包括以下步骤，步骤S1，在制造执行系统内建立用于新增和变更工艺流程的工艺流程管理模块以及用于新增和变更制程参数的制程参数管理模块；步骤S2，在制程参数管理模块新增制程参数时，将若干个制程参数成套形成加工参数包，并且在加工参数包上标记业务标签；步骤S3，加工参数包通过关联的方式与工艺流程上的站点进行关联，每个工艺流程上的站点至少关联有一个加工参数包；步骤S4，制造执行系统在加工时，根据待加工批次的业务标记从工艺流程管理模块内选择一个工艺流程来对批次进行加工；步骤S5, 被选中的工艺流程上的站点根据批次的业务标记与加工参数包的业务标签进行匹配；步骤S6，工艺流程按照匹配好的加工参数包对批次进行加工。