一种半导体CP测试程序的混版本兼容方法
摘要文本
本发明涉及制造业加工系统技术领域，具体涉及一种半导体CP测试程序的混版本兼容方法，包括如下步骤，步骤S1，对每个CP站点设定测试程序、探针卡组、探针卡配方；步骤S2，待测试批次按照工艺流程进入站点时，检查探针卡，根据探针卡组找到测试程序；步骤S3, 判断是否有前后站兼容管控；步骤S4, 获取工艺流程中的前站信息；步骤S5, 找到所有晶圆在前站使用的测试程序组；步骤S6, 确定当站使用的测试程序版本；步骤S7, 检查选中的版本，是否有测试平台的兼容管控，如有管控，需获取前站使用的测试平台，否则需要挑选其他设备，重复步骤S2到步骤S7动作，直到找到可兼容的测试设备。可避免CP测试程序出现兼容问题，并快速找到符合要求的测试程序。
申请人信息
- 申请人:成都芯极客科技有限公司
- 申请人地址:610000 四川省成都市高新区萃华路89号2201室
- 发明人: 成都芯极客科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体CP测试程序的混版本兼容方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311758746.4 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN117438331A |
| 公开日 | 2024/1/23 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 武汉芯极客软件技术有限公司 |
| 发明人 | 赵俊; 黄海; 曹少威; 廖广安 |
| 地址 | 1.一种半导体CP测试程序的混版本兼容方法，其特征在于，包括如下步骤，步骤S1，对每个CP站点设定测试程序、探针卡组、探针卡配方，同一站点配有多个不同的测试程序，并且对测试程序的版本做分组，前后站点的测试程序版本能兼容的分到同一个测试程序组；步骤S2，待测试批次按照工艺流程进入站点时，检查探针卡信息，根据探针卡组找到测试程序；步骤S3, 判断是否有前后站兼容管控，如无管控或者当首站处理的，则直接找当前测试程序中配置的最高版本，否则进入步骤S4；步骤S4, 获取工艺流程中的前站信息，以及每片晶圆实际跑过的前 |
专利主权项内容
1.一种半导体CP测试程序的混版本兼容方法，其特征在于，包括如下步骤，步骤S1，对每个CP站点设定测试程序、探针卡组、探针卡配方，同一站点配有多个不同的测试程序，并且对测试程序的版本做分组，前后站点的测试程序版本能兼容的分到同一个测试程序组；步骤S2，待测试批次按照工艺流程进入站点时，检查探针卡信息，根据探针卡组找到测试程序；步骤S3, 判断是否有前后站兼容管控，如无管控或者当首站处理的，则直接找当前测试程序中配置的最高版本，否则进入步骤S4；步骤S4, 获取工艺流程中的前站信息，以及每片晶圆实际跑过的前站信息，若晶圆有前站信息且与工艺流程前站一致，表示该晶圆找到前站，进入步骤S5；步骤S5, 找到所有晶圆在前站使用的测试程序组，如果测试程序组都相同，则定义为前站使用的测试程序组，进入步骤S6，否则不允许加工；步骤S6, 确定当站使用的测试程序版本，当站应使用与前站相同测试程序组的最高版本；步骤S7, 检查选中的版本，是否有测试平台的兼容管控，如有管控，需获取前站使用的测试平台，测试平台一致可进入针测加工，否则需要挑选其他设备，重复步骤S2到步骤S7动作，直到找到可兼容的测试设备。