一种磁体表面溅射成膜装置

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一种磁体表面溅射成膜装置，属于永磁体溅射技术领域。包括安装在机架上的输送装置、往复传动机构以及安装架，安装架可滑动的安装在机架上，安装架间隔设置在输送装置的上侧，往复传动机构设置在输送装置与安装架之间，使安装架沿输送装置的输送方向往复运动，安装架并排设置有若干个，各安装架与输送装置之间均设置有往复传动机构。本磁体表面溅射成膜装置的往复传动机构带动安装架往复运动，进而使靶材在输送装置的输送方向上往复运动，以使靶材的边缘得到充分的使用，进而使靶材的利用率大大提高，往复传动机构设置在输送装置与安装架之间，进而使靶材往复运动的速度随磁体的输送速度同步调节，保证了对磁体的溅射效果好。