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一种组合式探针卡
摘要文本
本申请公开了一种组合式探针卡，属于探针卡技术领域。主要包括上固定环，及安装在上固定环下侧的下固定环；盖片，该盖片焊接在上固定环内；PCB板，该PCB板焊接与盖片靠近下固定环的一侧；安装组件，该安装组件设置于下固定环内，安装组件包括；盒体，该盒体设置于下固定环内，盒体的内部为中空设置，盒体上开设有至少两组第一腰槽。本申请的一种组合式探针卡通过设置有安装组件、第一弹簧、第二腰槽以及推杆，在对多组探针进行拆卸或者安装时，只需工作人员手动推动推杆，将腰槽对准探针件，松开推杆即可将探针件夹持于腰槽内，以完成对多组探针件的快速拆卸或安装，提高了晶圆检测的工作效。
申请人信息
- 申请人:安盈半导体技术(常州)有限公司
- 申请人地址:213000 江苏省常州市新北区华山中路9号五号楼118
- 发明人: 安盈半导体技术(常州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种组合式探针卡 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311752991.4 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN117434318B |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | G01R1/073 |
| 权利人 | 安盈半导体技术(常州)有限公司 |
| 发明人 | 薛冰 |
| 地址 | 江苏省常州市新北区华山中路9号五号楼118 |
专利主权项内容
1.一种组合式探针卡，其特征在于：包括；上固定环(2)，及安装在所述上固定环(2)下侧的下固定环(3)；盖片(1)，该盖片(1)焊接在所述上固定环(2)内；PCB板(11)，该PCB板(11)焊接与所述盖片(1)靠近所述下固定环(3)的一侧；安装组件(4)，该安装组件(4)设置于所述下固定环(3)内，所述安装组件(4)包括；盒体(41)，该盒体(41)设置于所述下固定环(3)内，所述盒体(41)的内部为中空设置，所述盒体(41)上开设有至少两组第一腰槽(42)；隔板(43)，该隔板(43)固定安装于所述盒体(41)内，所述隔板(43)上开设有至少两组第三腰槽；安装板(7)，该安装板(7)放置于所述隔板(43)上，所述安装板(7)上开设有至少两组第二腰槽(71)；探针件(15)，该探针件(15)设置于所述第一腰槽(42)内；推杆(5)，该推杆(5)安装于所述安装板(7)的一侧，所述推杆(5)远离所述推杆(5)的一端延伸至所述盒体(41)的外侧；第一弹簧(6)，该第一弹簧(6)固定安装于所述安装板(7)与所述推杆(5)之间。