一种真空镀膜腔及包括该腔体的真空镀膜设备

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本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜设备，包括真空镀膜机本体，还包括引弧装置，引弧装置设置在真空腔内，引弧装置为多个；转动轴，转动轴转动设置在引弧装置上，此真空镀膜设备，在使用时，先将挂架挂上待镀膜的工件，再运送到真空镀膜机本体前，接着将挂架拿起对准Y形轨道，使得连接杆与Y形轨道对接，完成后，推动挂架，使得连接杆带动推杆位移，推杆位移带动齿条移动，进一步带动第一转动齿轮转动，同步带动第二转动齿轮转动，进而驱动齿圈和转动板转动，带动转动槽内的固定座与Y形轨道对齐，同时连接杆在压缩弹簧的弹力作用下与卡接槽啮合，完成对挂架的固定。