← 返回列表

用于频域光学相干层析成像系统的大深度光谱仪及其应用

申请号: CN202311660126.7
申请人: 常州微亿智造科技有限公司
申请日期: 2023/12/6

摘要文本

本发明涉及光谱仪技术领域,尤其涉及一种用于频域光学相干层析成像系统的大深度光谱仪及其应用,用于频域光学相干层析成像系统的大深度光谱仪包括:准直组件、透射式衍射光栅、平面反射镜、聚焦组件和线扫相机;光纤头出射干涉光经过准直组件准直,得到准直的干涉光;光轴经过透射式衍射光栅发生转折,通过透射式衍射光栅对准直的干涉光衍射实现分光;分光后的干涉光经由平面反射镜反射转向;反射后的干涉光经由聚焦组件聚焦发散,最终不同波长的光束聚焦在线扫相机感光面上的不同位置处。本发明提供的一种用于频域光学相干层析成像系统的大深度光谱仪,操作步骤简单,提高了检测时间和检测效率,能够满足工业质检的检测需求。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 用于频域光学相干层析成像系统的大深度光谱仪及其应用
专利类型 发明授权
申请号 CN202311660126.7
申请日 2023/12/6
公告号 CN117347317B
公开日 2024/3/8
IPC主分类号 G01N21/45
权利人 常州微亿智造科技有限公司
发明人 李惠芬; 霍天成; 侯大为; 潘正颐; 李子豪
地址 江苏省常州市钟楼经济开发区玉龙南路280号常州大数据产业园4号楼2楼

专利主权项内容

1.一种用于频域光学相干层析成像系统的大深度光谱仪,其特征在于,包括:宽带光源,用于提供光源,与光纤跳线连接;光纤耦合器,所述宽带光源发出的光在所述光纤耦合器内干涉形成干涉光,再经所述光纤跳线的光纤头(6)出射干涉光;偏置控制器,用以调节干涉光出射的偏振态;准直组件(1),所述准直组件(1)的物方焦点与光纤跳线的光纤头(6)重合,其光轴与光纤头(6)出射干涉光的主光线重合,光纤头(6)出射干涉光经过所述准直组件(1)准直,得到准直的干涉光;透射式衍射光栅(2),光轴经过所述透射式衍射光栅(2)发生转折,通过透射式衍射光栅(2)对准直的干涉光进行衍射实现分光,不同波长的光束对应于不同的衍射角度;平面反射镜(3),设定水平基准面为Q,所述平面反射镜(3)的反射面与所述水平基准面形成夹角θ,分光后的干涉光经由平面反射镜(3)反射转向;聚焦组件(4),所述聚焦组件(4)的光轴与所述平面反射镜(3)反射的主波长光束的主光线重合,反射后的干涉光经由聚焦组件(4)聚焦发散;以及线扫相机(5),所述线扫相机(5)的感光面(51)垂直于所述聚焦组件(4)的光轴,放置在所述聚焦组件(4)的后焦平面上,所述不同波长的光束经聚焦组件(4)聚焦在所述线扫相机(5)感光面上的不同位置处;其中,所述宽带光源采用中心波长范围接近红外波段、且半高全宽/>小的超辐射发光二极管;所述聚焦组件(4)包括依次同轴设置的第一聚焦透镜(41)、第二聚焦透镜(42)以及发散透镜(43),第一聚焦透镜(41)和第二聚焦透镜(42)为平凸透镜,发散透镜(43)为平凹透镜,反射后的干涉光经由所述第一聚焦透镜(41)和所述第二聚焦透镜(42)聚焦,再经发散透镜(43)在竖直方向进行发散;所述平面反射镜(3)与所述第一聚焦透镜(41)之间的距离为35mm-50mm,所述第一聚焦透镜(41)与所述第二聚焦透镜(42)之间的距离范围为130-155mm,所述第二聚焦透镜(42)与所述发散透镜(43)之间的距离范围为110-130mm,所述发散透镜(43)和所述感光面(51)之间的距离为10-15mm。