一种硅部件制造用晶圆片贴片机
摘要文本
本申请涉及芯片制造技术领域，公开了一种硅部件制造用晶圆片贴片机，通过真空泵吸引气体，使气体形成快速的气流流动状态，使气流经过扇叶，通过连杆带动主动齿轮Ⅰ转动，从而使主动齿轮Ⅰ啮合过滤环板上的接收齿Ⅰ，使过滤环板进行转动，从而使过滤环板在短时间内只有一部分与流动的气流直接接触，且接触的部位处于不断的改变状态，致使过滤环板将过滤气体的能力进行分散，延长过滤环板被堵塞的时间间隔，并且过滤环板在转动的过程中，外侧的过滤孔将与隔离板上的不规则凸起发生碰撞摩擦，配合弹簧的弹力作用，致使过滤环板出现快速的上下抖动，清除过滤环板上吸附的杂质。
申请人信息
- 申请人:江苏协鑫特种材料科技有限公司
- 申请人地址:221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号
- 发明人: 江苏协鑫特种材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅部件制造用晶圆片贴片机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311545888.2 |
| 申请日 | 2023/11/20 |
| 公告号 | CN117650078A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 江苏协鑫特种材料科技有限公司 |
| 发明人 | 黄修康; 于伟华; 苏博文; 段畅 |
| 地址 | 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号 |
专利主权项内容
1.一种硅部件制造用晶圆片贴片机，其特征在于，包括气动座(1)以及气动座(1)一侧通过螺栓连接的过滤座(8)，所述气动座(1)内开设有动力室(4)，动力室(4)内设置有传动装置；所述传动装置包括定位座(5)、连杆(6)以及主动齿轮Ⅰ(7)，所述定位座(5)通过螺栓连接在动力室(4)内，所述连杆(6)上开设有凹槽，所述定位座(5)的中部呈圆环状套接在连杆(6)的凹槽上，所述主动齿轮Ⅰ(7)连接在连杆(6)的一端上，所述连杆(6)的另一端上设置有均布的扇叶，用于接收气流的动力，带动主动齿轮Ⅰ(7)进行转动；所述过滤座(8)内开设有活动室(9)、排气口(10)和清洗室(11)，所述排气口(10)与活动室(9)的顶部接通，用于排走活动室(9)内的气流，所述活动室(9)内套接有环形的过滤环板，所述过滤环板的内侧壁上周向设置有均布的接收齿Ⅰ(17)，所述接收齿Ⅰ(17)与主动齿轮Ⅰ(7)啮合，用于带动过滤环板持续转动，改变过滤环板与气流的接触位置；所述清洗室(11)位于活动室(9)的下方，所述活动室(9)与清洗室(11)之间设置有清洁系统，用于对过滤环板上吸附的杂质进行清理。。马 克 数 据 网