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一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉
摘要文本
本申请涉及气相沉积炉技术领域，公开了一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉，用以解决基件两侧接触的反应原料含量不同导致涂层不均、基件与料架出现接触死角的问题。通过在固定杆上开设有连通孔和通气口，炉体上设有旋转接头和驱动装置，旋转接头连接有进气支管，料架上开设有滑槽和连通方孔，滑槽内设有支撑台、滑动块和弹性件，滑动块上活动设有支撑柱，通过气体原料依次进入不同的连通方孔，驱动不同的支撑柱夹持基件并转动，改变基件的接触位置，避免出现接触死角；通过在滑槽的侧壁开设有喷气孔和喷气支孔，通过滑动块移动，使气体原料通过喷气支孔均匀喷至基件两侧，避免基件两侧接触不同含量的气体原料导致涂层不均的现象出现。
申请人信息
- 申请人:江苏协鑫特种材料科技有限公司
- 申请人地址:221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号
- 发明人: 江苏协鑫特种材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311611876.5 |
| 申请日 | 2023/11/29 |
| 公告号 | CN117660922A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | C23C16/32 |
| 权利人 | 江苏协鑫特种材料科技有限公司 |
| 发明人 | 于伟华; 黄修康; 汪勋; 王彬; 孙银刚 |
| 地址 | 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号 |
专利主权项内容
1.一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉，包括底座(1)、炉体(2)和料架(3)，所述炉体(2)包括出气管(202)，其特征在于：所述底座(1)上设有：四个固定杆(101)，环形阵列固定设于底座(1)的上端面，所述固定杆(101)的中心开设有连通孔(102)，所述连通孔(102)侧壁的轴向等距开设有若干通气口(103)；所述料架(3)上设有：四个固定孔(301)，环形阵列开设于料架(3)的端面上，且若干个料架(3)通过固定孔(301)活动套设于固定杆(101)上；所述炉体(2)上设有：旋转接头(203)，固定设于炉体(2)顶端的中心处；驱动装置(201)，固定安装于炉体(2)顶端的一侧，用于驱动旋转接头(203)内圈转动；四个进气支管(205)，环形阵列设于旋转接头(203)的外圈，一端与旋转接头(203)的外圈连通，另一端与连通孔(102)的上端连通。