一种半导体检测用探针台
摘要文本
本发明公开了一种半导体检测用探针台，包括主机、台体、显微镜、电极放大机构、吸附式探针和转运机构。本发明属于半导体检测领域，具体是指一种半导体检测用探针台；本发明通过电极放大机构，对电极进行了放大，扩大了检测区域的范围，能够降低检测探针所需的精密度，降低设备成本，同时电极放大机构为独立零件，便于维修，损坏后仅需更换即可，降低了设备后续的维护成本，同时克服了传统手动探针台的缺点，电极放大机构能够适应不同尺寸芯片进行定位的同时，提升了芯片放置的速度，提升了检测效率。
申请人信息
- 申请人:扬州奕丞科技有限公司
- 申请人地址:225200 江苏省扬州市江都区大桥镇桃园路1号经济开发区中小企业园3号楼1楼
- 发明人: 扬州奕丞科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体检测用探针台 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311699087.1 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN117388544B |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G01R1/067 |
| 权利人 | 扬州奕丞科技有限公司 |
| 发明人 | 赖生雄 |
| 地址 | 江苏省扬州市江都区大桥镇桃园路1号经济开发区中小企业园3号楼1楼 |
专利主权项内容
1.一种半导体检测用探针台，其特征在于：包括主机(1)、台体(2)、显微镜(3)、电极放大机构(4)、吸附式探针(5)和转运机构(6)，所述主机(1)设于台体(2)一侧，所述转运机构(6)设于台体(2)另一侧，所述台体(2)顶部设有背板(201)，所述台体(2)顶部设有滑槽一(202)，所述滑槽一(202)内设有滑杆(203)，所述电极放大机构(4)滑动设于滑槽一(202)内，所述显微镜(3)设于滑槽一(202)上方，所述吸附式探针(5)设于滑槽一(202)上方；所述电极放大机构(4)包括滑块(401)、滑动挖孔(402)、握把(403)、放置板(404)、支撑杆(405)、U型架一(407)和U型架二(408)，所述滑块(401)与滑槽一(202)贴合，所述滑动挖孔(402)贯穿设于滑块(401)内，所述滑动挖孔(402)与滑杆(203)贴合，所述握把(403)设于滑块(401)侧壁，所述放置板(404)设于滑块(401)上方，所述支撑杆(405)设于放置板(404)与滑块(401)之间，所述放置板(404)贯穿开有定位挖孔(406)；所述U型架一(407)设于放置板(404)与滑块(401)之间，所述U型架二(408)设于放置板(404)与滑块(401)之间，所述U型架二(408)设于U型架一(407)的上方，所述U型架一(407)与U型架二(408)的端部分别滑动设于一组相对的定位挖孔(406)内，所述U型架一(407)与滑杆(203)轴线方向平行，所述U型架二(408)与滑杆(203)轴线方向垂直，U型架一(407)、U型架二(408)分别通过电动推杆与滑块(401)连接，U型架一(407)与U型架二(408)的初始高度低于放置板(404)顶面，放置芯片时，分别启动电动推杆，U型架一(407)向上升起，U型架一(407)两端之间的距离缩短，对芯片的长度进行限定，U型架二(408)向上升起，U型架二(408)两端之间的距离缩短，对芯片的宽度进行限定，所述放置板(404)中心竖直贯穿设有吸附孔(412)，所述放置板(404)底壁设有气泵一(413)，所述气泵一(413)与吸附孔(412)相通，放置芯片时，启动气泵一(413)，吸附孔(412)通过负压吸附芯片，所述放置板(404)上方设有初级探针机构(409)，所述初级探针机构(409)与放置板(404)之间设有电动升降杆(426)。