一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法
摘要文本
本发明公开了等离子源技术领域内的一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法。该预激发点火装置，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；其中，谐振变换器包括变压器T，点火电路包括次级绕组N2、N3，N2、N3串联并分别与变压器T耦合，次级绕组N3的两端与等离子体负载连接。点火电路的次级绕组线圈N2与谐振变换器的变压器T耦合，以降低成本，能够实现能量的高效传输，此外，装置通过采用可控点火电路，实时对电压和电流进行采样，经控制单元实时评估点火状态，系统进行点火成功、报错或者循环点火重新驱动PWM单元的操作，提高了气体预激发的成功率，确保器件稳定运行。
申请人信息
- 申请人:江苏神州半导体科技有限公司
- 申请人地址:225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
- 发明人: 江苏神州半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311489136.9 |
| 申请日 | 2023/11/8 |
| 公告号 | CN117545162A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H05H1/36 |
| 权利人 | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 顾小军; 潘小刚; 朱培文; 朱国俊; 束寅志 |
| 地址 | 江苏省南京市扬州市邗江区蜀岗西路19号1 |
专利主权项内容
1.一种远程等离子源的预激发点火装置，其特征在于，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；所述点火电路用以实现对气体的点火启动，所述点火电路产生高压点火信号，使等离子体负载高频震荡电离；所述谐振变换器与所述点火电路相连接，所述谐振变换器用以将输入直流源变换为交流源并向所述点火电路提供输入交流源；所述输出采样单元与所述控制单元相连接，所述输出采样单元用以采集所述谐振变换器的输出电压及电流，并发送至所述控制单元；所述点火电流采样单元与所述控制单元相连接，所述点火电流采样单元用以采集所述点火电路的电流，并发送至所述控制单元；所述控制单元根据接收的电压及电流信息发送驱动信号至所述PWM驱动单元；所述PWM驱动单元根据所述驱动信号输出PWM信号波控制所述谐振变换器的输出电流；其中，所述谐振变换器包括变压器T，所述点火电路包括次级绕组N2、次级绕组N3、继电器S，所述次级绕组N2、次级绕组N3分别与所述变压器T耦合，所述次级绕组N2串联所述继电器S后与所述次级绕组N3串联，所述次级绕组N3的两端与所述等离子体负载连接，所述继电器S受所述控制单元控制。