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一种远程等离子源拓扑结构及其控制方法
摘要文本
本发明公开了CVD腔室清洁技术领域内的一种远程等离子源拓扑结构及其控制方法。该结构包括：控制单元、PWM驱动单元、整流滤波输入单元、谐振变换器、点火电路和采样单元，点火电路产生高压点火信号，使等离子体负载高频震荡电离，谐振变换器用以提供输入交流源；控制单元通过PWM驱动单元控制谐振变换器的输出电流。该远程等离子源拓扑结构无需匹配器，具有体积小、成本低的特点。同时，该远程等离子源具备两种控制模式：恒流模式和恒功率模式；恒流模式响应速度快，适合各种性质负载；恒功率模式下，在运行功率未达到阈值时，系统输出恒定电流，电压会根据输入气体负载的解速率和电阻率自动改变，可以减小开关损耗，增大功率密度。
申请人信息
- 申请人:江苏神州半导体科技有限公司
- 申请人地址:225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
- 发明人: 江苏神州半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种远程等离子源拓扑结构及其控制方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311341984.5 |
| 申请日 | 2023/10/16 |
| 公告号 | CN117410165A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | H01J37/32 |
| 权利人 | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 潘小刚; 顾小军; 朱培文; 朱国俊; 束寅志 |
| 地址 | 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1 |
专利主权项内容
1.一种远程等离子源拓扑结构，其特征在于，包括：控制单元、PWM驱动单元、整流滤波输入单元、谐振变换器、点火电路和采样单元；所述点火电路设置于等离子体生成腔室内，所述点火电路用以实现对气体的点火启动，所述点火电路产生高压点火信号，使等离子体负载高频震荡电离；所述整流滤波输入单元与所述谐振变换器相连接，用以向所述谐振变换器提供输入直流源；所述谐振变换器与所述点火电路相连接，所述谐振变换器用以将所述输入直流源变换为交流源并向所述点火电路提供输入交流源；所述采样电路与所述控制单元相连接，所述采样电路用以采集所述谐振变换器的电压及电流，并发送至所述控制单元；所述控制单元根据接收的电压及电流信息发送驱动信号至所述PWM驱动单元；所述PWM驱动单元根据所述驱动信号输出PWM信号波控制所述谐振变换器的输出电流。