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一种微流控芯片键合装置
摘要文本
本发明公开了一种微流控芯片键合装置,涉及微流控技术领域,其包括包括主体箱,主体箱的前后两端均设有至少一个第一安装口,主体箱经第一安装口连接有键合组件,键合组件包括固定连接在主体箱内的键合电机和下盖,键合电机上连接有键合轴,键合轴上连接有上盖,下盖相对上盖的一端套接在键合轴上,上盖和下盖内上均固定连接有夹持支撑板,夹持支撑板的中心固定有支撑部,支撑部四周的夹持支撑板上均开有滑动槽,夹持支撑板经滑动槽滑动连接有夹持块,相对设置的两个夹持块做相向或相背运动;本发明能实现芯片本体的定位夹持,方便键合。
申请人信息
- 申请人:扬州大学
- 申请人地址:225009 江苏省扬州市大学南路88号
- 发明人: 扬州大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种微流控芯片键合装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311448653.1 |
| 申请日 | 2023/11/2 |
| 公告号 | CN117558652A |
| 公开日 | 2024/2/13 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 扬州大学 |
| 发明人 | 尹彬沣; 曾施宇; 谭港; 刘军 |
| 地址 | 江苏省扬州市大学南路88号 |
专利主权项内容
1.一种微流控芯片键合装置,其特征在于:包括主体箱,所述主体箱的前后两端均设有至少一个第一安装口,主体箱经第一安装口连接有键合组件,所述键合组件包括固定连接在主体箱内的键合电机和下盖,所述键合电机上连接有键合轴,所述键合轴上连接有上盖,下盖相对上盖的一端套接在键合轴上,上盖和下盖内上均固定连接有夹持支撑板,所述夹持支撑板的中心固定有支撑部,所述支撑部四周的夹持支撑板上均开有滑动槽,夹持支撑板经滑动槽滑动连接有夹持块,相对设置的两个夹持块做相向或相背运动。