← 返回列表

一种微流控芯片键合装置

申请号: CN202311448653.1
申请人: 扬州大学
申请日期: 2023/11/2

摘要文本

本发明公开了一种微流控芯片键合装置,涉及微流控技术领域,其包括包括主体箱,主体箱的前后两端均设有至少一个第一安装口,主体箱经第一安装口连接有键合组件,键合组件包括固定连接在主体箱内的键合电机和下盖,键合电机上连接有键合轴,键合轴上连接有上盖,下盖相对上盖的一端套接在键合轴上,上盖和下盖内上均固定连接有夹持支撑板,夹持支撑板的中心固定有支撑部,支撑部四周的夹持支撑板上均开有滑动槽,夹持支撑板经滑动槽滑动连接有夹持块,相对设置的两个夹持块做相向或相背运动;本发明能实现芯片本体的定位夹持,方便键合。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种微流控芯片键合装置
专利类型 发明申请
申请号 CN202311448653.1
申请日 2023/11/2
公告号 CN117558652A
公开日 2024/2/13
IPC主分类号 H01L21/67
权利人 扬州大学
发明人 尹彬沣; 曾施宇; 谭港; 刘军
地址 江苏省扬州市大学南路88号

专利主权项内容

1.一种微流控芯片键合装置,其特征在于:包括主体箱,所述主体箱的前后两端均设有至少一个第一安装口,主体箱经第一安装口连接有键合组件,所述键合组件包括固定连接在主体箱内的键合电机和下盖,所述键合电机上连接有键合轴,所述键合轴上连接有上盖,下盖相对上盖的一端套接在键合轴上,上盖和下盖内上均固定连接有夹持支撑板,所述夹持支撑板的中心固定有支撑部,所述支撑部四周的夹持支撑板上均开有滑动槽,夹持支撑板经滑动槽滑动连接有夹持块,相对设置的两个夹持块做相向或相背运动。