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一种精确控温半导体晶圆退火炉
摘要文本
本申请公开了一种精确控温半导体晶圆退火炉，包括炉体以及与炉体铰接的炉门，所述炉体内安装有石英腔室、加热单元、晶圆载台和供气单元，所述炉门处安装有温度检测装置。本申请的退火炉，具有高温计，高温计可以在晶圆退火过程中检测炉体内部的温度，每个加热灯能够单独调节，从而可以对内部加热温度均匀性实现更好的控制，温度检测装置采用热电偶的方式测温，温度检测更加准确，既可以校准加热灯，对加热灯进行调节，也可以用于校准高温计，温度检测装置具有两种工作状态，第一状态可以作为辅助温控，第二状态为通过多个温度传感器有效的监测整个退火过程的温度，从而更好地在需要的情况下实现对加热灯功率的调节。 专利查询网
申请人信息
- 申请人:扬州韩思半导体科技有限公司
- 申请人地址:225000 江苏省扬州市高新技术开发区吉利路21号2幢
- 发明人: 扬州韩思半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种精确控温半导体晶圆退火炉 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311421128.0 |
| 申请日 | 2023/10/27 |
| 公告号 | CN117448968A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | C30B33/02 |
| 权利人 | 扬州韩思半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 杨志勇; 单庆喜; 王恒 |
| 地址 | 江苏省扬州市高新技术开发区吉利路21号2幢 |
专利主权项内容
1.一种精确控温半导体晶圆退火炉，其特征在于，包括炉体以及与炉体铰接的炉门，所述炉体内安装有石英腔室、加热单元、晶圆载台和供气单元，所述炉门处安装有温度检测装置。