一种远程等离子源预激发点火电路及自适应点火方法

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本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源预激发点火电路及自适应点火方法，其中电路包括控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、采样单元和继电器，控制单元用于控制PWM驱动单元输出脉冲信号；PWM驱动单元控制谐振变换器的输出电流；谐振变换器将PWM驱动单元输出的脉冲信号转换为交流源，并用于为点火电路提供输入交流源；点火电路用于产生高压点火信号，使等离子体负载高频振荡电离；采样单元用于采集点火电路的点火电流，及谐振变换器的输出电压和输出电流；继电器由控制单元控制吸合或断开。通过对点火电压与电流的采样，实时判断远程等离子源腔体寿命，通过减少不必要的溅射，及消除生产过程中的点火故障来提高产量。