一种芯片表面瑕疵检测方法及系统

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本发明公开了一种芯片表面瑕疵检测方法及系统，涉及在线无损探伤仪器技术领域。本发明包括外壳，外壳内部底端中心位置设置有移动组件，移动组件顶部固定安装有固定组件，固定组件底部边缘位置设置有气动组件，气动组件周侧面环形阵列有八组拍摄组件；气动组件包括气动杆，气动杆有八根，且均匀环形阵列于固定底座底部外侧，每根气动杆底部均活动设置于密封套内部，密封套底部通过气仓与活动仓固定连接，活动仓内部为环形中空结构，且与每个密封套相连通。本发明通过设置可以根据当前芯片倾斜角度移动的光源，减少了两侧光源产生的散射光对于芯片的影响，使得拍摄出来的芯片尽可能地减少阴影。