一种金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备及方法
摘要文本
本发明涉及一种金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备及方法；涉及溅射镀膜技术领域，该金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备包括固定在机架体上方的双带输送机，在双带输送机的一端设置有陶瓷基板上料组件，双带输送机的另一端设置有基板转接组件，在基板转接组件的下方设有基板推送组件；随着接板转轮的不断旋转，基板由水平状态转化成竖直状态，基板的底部卡接在接板转轮和活动臂形成的夹角中，当活动臂旋转至辅助轮处的时候，在辅助轮的挤压下，活动臂的内侧面与基板承载平面平行，此时基板瞬间垂直掉落至托板上，负压吸盘对基板进行吸附，保证基板的稳定；接着推料气缸的缸杆伸出，吸附有基板的负压吸盘向前推移，直至将基板安放至C型架中。 详见官网：
申请人信息
- 申请人:江苏信核芯微电子有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园11号楼201-23
- 发明人: 江苏信核芯微电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311261524.1 |
| 申请日 | 2023/9/27 |
| 公告号 | CN117568757A |
| 公开日 | 2024/2/20 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 江苏信核芯微电子有限公司 |
| 发明人 | 孙森; 杨志 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园11号楼201-23 |
专利主权项内容
1.一种金属薄膜陶瓷基板加工用溅射镀膜设备，其特征在于：包括固定在机架体(3)上方的双带输送机(1)，在双带输送机(1)的一端设置有陶瓷基板上料组件(2)，该双带输送机(1)的另外一端设置有基板转接组件(4)，在基板转接组件(4)的下方设有基板推送组件(5)；所述的陶瓷基板上料组件(2)包括焊接在双带输送机(1)两侧的固定板(21)，每侧设有两个，并且每个固定板(21)上活动连接有转轮(23)；同侧设置的两个转轮(23)之间通过板材输送带(24)传动连接，且靠近双带输送机(1)端部的转轮(23)还与驱动马达(22)配合连接；与驱动马达(22)连接的转轮(23)顶部还配合安装有曲柄滑块组件(25)，该曲柄滑块组件(25)中的滑块与推块(26)通过螺钉固定；所述的推块(26)滑动连接在基板放置板(27)上开设的滑槽内；所述的基板转接组件(4)包括两个呈对称式设置，且配合安装在双带输送机(1)上的接板转轮(41)；所述的接板转轮(41)具有一个基板承载平面，在基板承载平面的外侧设有活动臂(43)；所述的活动臂(43)通过转轴与驱动杆(42)的一端活动连接；该驱动杆(42)的另一端与接板转轮(41)固定连接；所述的驱动杆(42)和活动臂(43)之间设置有弹簧(44)；所述的接板转轮(41)的外侧还设置有辅助轮(46)，该辅助轮(46)活动连接在支架(45)上；所述的支架(45)下端与双带输送机(1)通过螺栓固定；所述的接板转轮(41)上方的基板承载平面旋转至接板转轮(41)上方的时候与双带输送机(1)上表面平齐。