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一种循环系统的自动排气装置
摘要文本
本发明属于半导体晶圆生产过程中冷却液的泵循环技术领域，公开了一种循环系统的自动排气装置，包括排气盒，排气盒内部中空，排气盒的盒璧设有泵端孔；排气盒的顶璧连接与内腔相通的补液管以及排气管；排气盒的盒璧连接与内腔相通的回液管；其中，泵端孔的高度位于补液管以及排气管的管口以下，回液管接收由泵的输出端泵出并参与循环后的液体。本发明中，排气盒内原有的气体以及循环管路中的气体，被排气盒中的液体挤压，并通过排气管排走，保证了气体的自动排净，无需通过三通阀进行手动排气，同时保证了泵高效安全的运行；补液管、排气管、回液管、排液管直接集成在排气盒上，结构更加简洁，在多支路的情况下不易产生管路交叉与干涉。。专利查询网
申请人信息
- 申请人:无锡暖芯半导体科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区锡梅路88号无锡环普万联国际产业园B-5
- 发明人: 无锡暖芯半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种循环系统的自动排气装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311563435.2 |
| 申请日 | 2023/11/22 |
| 公告号 | CN117419044A |
| 公开日 | 2024/1/19 |
| IPC主分类号 | F04B53/06 |
| 权利人 | 无锡暖芯半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 王光光; 李永惠 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区锡梅路88号无锡环普万联国际产业园B-5 |
专利主权项内容
1.一种循环系统的自动排气装置，其特征在于：包括排气盒(1)，所述排气盒(1)内部中空，所述排气盒(1)的盒璧设有用于向泵(6)的输入口供液的泵端孔(11)；所述排气盒(1)的顶璧连接与内腔相通的补液管(2)以及排气管(3)；所述排气盒(1)的盒璧连接与内腔相通的回液管(4)；其中，所述泵端孔(11)的高度位于补液管(2)以及排气管(3)的管口以下，所述回液管(4)接收由所述泵(6)的输出端泵出并参与循环后的液体。