一种晶圆位置监测调度装置、系统和方法

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本发明实施例公开了一种晶圆位置监测调度装置、系统和方法。晶圆位置监测调度装置包括：至少两个装载口；前端装载模块，用于通过装载口装载晶圆；至少两个监测调度模块，监测调度模块与装载口一一对应，监测调度模块与对应的装载口并口连接，监测调度模块用于对装载口进行监测并生成监测调度信号；主控制器，与监测调度模块、前端装载模块通信连接，主控制器用于根据监测调度信号控制前端装载模块的工作状态，以实现同时通过至少两个装载口对晶圆进行装载调度。本发明实施例提供的晶圆位置监测调度装置、系统和方法，能够提高装载调度可靠性。