一种晶圆表面平均曲率半径的测量方法和系统

专利主权项内容

1.一种晶圆表面平均曲率半径的测量方法，其特征在于，包括：获取拟合公式；获取拟合公式包括：根据标准片的理论曲率的第一集合和标定片的实测曲率的第二集合，获取第一拟合参数和第二拟合参数，进而获取所述拟合公式；获取镀膜后待测片的第一平均曲率半径；根据所述拟合公式和所述第一平均曲率半径，获取所述镀膜后待测片的第二平均曲率半径；所述拟合公式满足：
；其中，为所述第二平均曲率半径，/>为所述第一平均曲率半径，/>为第一拟合参数，/>为第二拟合参数；所述第一拟合参数满足：
；所述第二拟合参数满足：
；其中，为所述第一集合中第i个理论曲率，/>为所述第二集合中第i个实测曲率，为所述第一集合和所述第二集合中数据点的数量。