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一种钙钛矿薄膜太阳能电池的制备方法
摘要文本
本发明属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种钙钛矿薄膜太阳能电池的制备方法。其中电荷传输层使用原子层沉积方式形成于所述衬底上，具体包括如下步骤：S01.将衬底置于反应室内，并抽真空，然后升温并保持；S02.将氮前驱体和镓前驱体混合，然后正向吹扫，接着逆向吹扫，接着正向吹扫；S03.通入惰性吹扫气吹扫; S04.将步骤S02‑S03循环若干周期后，完成沉积过程。通过在ALD沉积过程中前驱体正向、逆向吹扫结合，使得在保持GaN膜均匀性的同时，大大提升沉积效率，从而提高太阳能电池的生产效率。
申请人信息
- 申请人:无锡松煜科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
- 发明人: 无锡松煜科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种钙钛矿薄膜太阳能电池的制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311508687.5 |
| 申请日 | 2023/11/14 |
| 公告号 | CN117328040A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 无锡松煜科技有限公司 |
| 发明人 | 陈庆敏; 李丙科; 陈加朋; 卓倩武 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房 |
专利主权项内容
1.一种钙钛矿薄膜太阳能电池的制备方法，其中所述太阳能电池包括：衬底(1)，表面具有透明导电层；电荷传输层(2)，形成于所述衬底(1)上；钙钛矿层(3)，形成于所述电荷传输层(2)上；空穴传输层(4)，形成于所述钙钛矿层(3)上；电极层(5)，形成于所述空穴传输层(4)上；其特征在于，所述电荷传输层(2)使用原子层沉积方式形成于所述衬底(1)上，具体包括如下步骤：S01.将所述衬底(1)置于反应室(11)内，并抽真空至小于0.15torr，然后升温至200-250℃并保持30-60min；S02.将氮前驱体和镓前驱体混合30-60s，然后端部正向吹扫15-25s，接着中部逆向吹扫10-20s，接着中部正向吹扫10-20s；S03.通入惰性吹扫气吹扫30-40s；S04.将步骤S02-S03循环30-40个周期后，完成沉积过程。