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PVD设备中的磁性模组
摘要文本
本发明提供一种PVD设备中的磁性模组，包括：第一磁体组件，包括分布于第一磁体组件内圈的若干个第一磁极和分布于第一磁体组件外圈的若干个第二磁极；所述第一磁极和第二磁极极性相反，且均朝向阴极靶材方向；驱动组件，与第一磁体组件偏心连接，用于驱动第一磁体组件以偏心方式旋转；第二磁体组件，围绕第一磁体组件设置，包括分布于第二磁体组件内圈的若干个第三磁极和分布于第二磁体组件外圈的若干个第四磁极；所述第三磁极和第四磁极极性相反，且均朝向阴极靶材方向；所述第二磁极与第三磁极的极性相同。
申请人信息
- 申请人:无锡尚积半导体科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房
- 发明人: 无锡尚积半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | PVD设备中的磁性模组 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311650328.3 |
| 申请日 | 2023/12/5 |
| 公告号 | CN117364045A |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 无锡尚积半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 张陈斌; 刘超 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房 |
专利主权项内容
1.一种PVD设备中的磁性模组，其特征在于，包括：第一磁体组件(1)，包括分布于第一磁体组件(1)内圈的若干个第一磁极(101)和分布于第一磁体组件(1)外圈的若干个第二磁极(102)；所述第一磁极(101)和第二磁极(102)极性相反，且均朝向阴极靶材方向；驱动组件(2)，与第一磁体组件(1)偏心连接，用于驱动第一磁体组件(1)以偏心方式旋转；第二磁体组件(3)，围绕第一磁体组件(1)设置，包括分布于第二磁体组件(3)内圈的若干个第三磁极(301)和分布于第二磁体组件(3)外圈的若干个第四磁极(302)；所述第三磁极(301)和第四磁极(302)极性相反，且均朝向阴极靶材方向；所述第二磁极(102)与第三磁极(301)的极性相同。