一种晶圆CP测试装置

专利主权项内容

1.一种晶圆CP测试装置，包括壳体、探针测试模块、放料晶舟盒和储料晶舟盒，所述探针测试模块位于壳体内，所述放料晶舟盒和储料晶舟盒可拆卸固定在壳体内，其特征在于：所述壳体内设置有能够旋转调节角度的旋转柱，所述旋转柱上设置有三个能够实现升降位移调节的升降板，所述升降板上设置有伸缩直线模组，所述伸缩直线模组以旋转柱为中心呈圆形阵列，所述伸缩直线模组连接有充压组件，所述充压组件远离升降板的一侧连接有气动夹爪，所述充压组件底部设置有与气动夹爪连通的气动控制组件，所述气动控制组件连通有位于充压组件上的稳压组件，所述稳压组件连通充压组件，所述稳压组件能够基于气动夹爪所需气压为气动夹爪自动补压；所述探针测试模块、放料晶舟盒以及储料晶舟盒以旋转柱为中心呈圆形阵列。