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一种硼扩散装置及其使用方法
摘要文本
本发明属于光伏电池制造技术领域，尤其涉及一种硼扩散装置及其使用方法。本发明包括：封闭框架，用于封闭所述工作台；进气管，安装在所述封闭框架上，且所述进气管的内端与所述封闭框架内部呈气体连通状态；导气板，设置在所述进气管上，且用于将所述进气管流出的气体向侧向引导；筛板，设置在所述进气管的内端上；所述筛板上设有若干分散孔，所述分散孔倾斜设置，且倾斜方向与所述导气板的气体引导方向一致。通过封闭框架将工作台的四周封闭，在封闭框架多点安装与风机连接的进气管，并且在进气管的内端设置导风组件，使吹向工作台的风尽可能弥散，避免了风量集中在一点，产生的风速导致扬尘效应。
申请人信息
- 申请人:无锡松煜科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
- 发明人: 无锡松煜科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硼扩散装置及其使用方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311753075.2 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN117431637B |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | C30B31/16 |
| 权利人 | 无锡松煜科技有限公司 |
| 发明人 | 陈庆敏; 郁世杰; 李丙科 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房 |
专利主权项内容
1.一种硼扩散装置，其特征在于，包括：封闭框架(1)，用于封闭工作台(11)；进气管(2)，安装在所述封闭框架(1)上，且所述进气管(2)的内端与所述封闭框架(1)内部呈气体连通状态；导气板(3)，设置在所述进气管(2)上，且用于将所述进气管(2)流出的气体向侧向引导，气流导向沿着所述封闭框架(1)内侧面行进，形成环向气流；筛板(4)，设置在所述进气管(2)的内端上；所述筛板(4)上设有若干分散孔(401)，所述分散孔(401)倾斜设置，且倾斜方向与所述导气板(3)的气体引导方向一致；还包括设置在所述进气管(2)内端侧的集尘槽单元(5)；集尘槽单元(5)的集尘方向出现在环向气流的行进方向上，且集尘槽单元(5)的集尘方向与该环向气流的行进方向相反。。数据由马 克 数 据整理