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一种渐变式冷却装置及其冷却方法
摘要文本
本发明公开了一种渐变式冷却装置及其冷却方法，涉及半导体技术领域。该渐变式冷却装置包括冷却仓、储料盒、环形冷却管、温度传感器和变频液冷机构。储料盒设置于冷却仓内，储料盒设置有用于容置料片的容置空腔，环形冷却管固定安装于冷却仓内，且围设于容置空腔外，并与变频液冷机构连接，变频液冷机构与温度传感器电连接，温度传感器用于检测料片的初始温度，变频液冷机构用于根据料片的材质、厚度和初始温度向环形冷却管输送温度按照预设速率降低的冷却液，以对料片进行液冷。本发明提供的渐变式冷却装置能够对料片进行温度渐变式的液冷，在保证料片质量的情况下尽量提高冷却效率，缩短装盒周期，提高生产效率。
申请人信息
- 申请人:盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市梁溪区金山四支路11-4
- 发明人: 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种渐变式冷却装置及其冷却方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311735372.4 |
| 申请日 | 2023/12/18 |
| 公告号 | CN117419498B |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | F25D15/00 |
| 权利人 | 盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司 |
| 发明人 | 黄善发; 吴金马; 臧宇 |
| 地址 | 江苏省无锡市梁溪区金山四支路11-4 |
专利主权项内容
1.一种渐变式冷却装置，其特征在于，包括冷却仓(110)、储料盒(120)、环形冷却管(130)、温度传感器(140)和变频液冷机构(150)，所述储料盒(120)设置于所述冷却仓(110)内，所述储料盒(120)设置有用于容置料片的容置空腔(121)，所述环形冷却管(130)固定安装于所述冷却仓(110)内，且围设于所述容置空腔(121)外，并与所述变频液冷机构(150)连接，所述变频液冷机构(150)与所述温度传感器(140)电连接，所述温度传感器(140)用于检测所述料片的初始温度，所述变频液冷机构(150)用于根据所述料片的材质、厚度和初始温度向所述环形冷却管(130)输送温度按照预设速率降低的冷却液，以对所述料片进行液冷。。 （来源 马克数据网）