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用于光刻机预对准系统的硅片放置装置
摘要文本
本发明涉及光刻机预对准技术领域，且公开了用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括工作架和设置在工作架上的预对准室，预对准室用于对晶圆硅片进行预对准水平检测，预对准室内转动安装有旋转台，旋转台上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱，承托柱位于晶圆硅片底部的边缘处，工作架上安装有升降台，升降台的伸缩端安装有升降圆盘，升降圆盘的中心安装有摆动机构和摆动电机，摆动机构的摆动端安装有往复机构，往复机构的往复端连接有用于转移晶圆硅片的放置杆，放置杆形成一套运行轨迹，拿取晶圆硅片然后转移到承托柱上，形成完整的自动化拿取放置系统，便于晶圆硅片更加高效接受预对准系统水平光滑度的检测。
申请人信息
- 申请人:江苏雷博微电子设备有限公司
- 申请人地址:214400 江苏省无锡市江阴市金山路201号创智产业园数码港D座一楼
- 发明人: 江苏雷博微电子设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于光刻机预对准系统的硅片放置装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311453004.0 |
| 申请日 | 2023/11/3 |
| 公告号 | CN117471865A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 江苏雷博微电子设备有限公司 |
| 发明人 | 刘正伟; 朱凯彬; 魏益波 |
| 地址 | 江苏省无锡市江阴市金山路201号创智产业园数码港D座一楼 |
专利主权项内容
1.用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括工作架(110)和设置在所述工作架(110)上的预对准室(120)，所述预对准室(120)用于对晶圆硅片进行预对准水平检测，其特征在于：所述预对准室(120)内转动安装有旋转台(130)，所述旋转台(130)上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱(140)，所述承托柱(140)位于晶圆硅片底部的边缘处；所述工作架(110)上安装有升降台(210)，所述升降台(210)的伸缩端安装有升降圆盘(220)，所述升降圆盘(220)的中心安装有摆动机构(250)和用于驱动所述摆动机构(250)运行的摆动电机(240)，所述摆动机构(250)的摆动端安装有往复机构(300)，所述往复机构(300)的往复端连接有用于转移晶圆硅片的放置杆(460)。