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一种关于CVD Shower Head部件的清洗方法
摘要文本
本发明公开了一种关于CVD Shower Head部件的清洗方法，属于半导体零部件清洗技术领域。该清洗方法包括：吹扫；异丙醇溶液中浸泡；清洗液浸泡；KOH水溶液浸泡；酸液浸泡；超声处理；烘干等操作。该方法可以有效去除产品表面及孔洞内部的污染物，并且可以有效控制产品表面金属离子浓度，并且有效保持产品的紧密度，清洗过程中对产品母材造成的损伤很小，还可以及时检测出产品状态，使产品可循环使用次数增多。
申请人信息
- 申请人:江苏凯威特斯半导体科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区团结路31号
- 发明人: 江苏凯威特斯半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种关于CVD Shower Head部件的清洗方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311168545.9 |
| 申请日 | 2023/9/11 |
| 公告号 | CN117324291A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | B08B1/00 |
| 权利人 | 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 薛弘宇; 桂传书; 顾仁宝; 朱文健; 李伟东; 韩伟男; 白晓天; 靳普云; 徐钰虹; 顾鹏铭; 潘腾飞; 陈开清; 刘伟伟 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山经济技术开发区团结路31号 |
专利主权项内容
1.一种CVD Shower Head超高清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：使用气流对CVD Shower Head表面及孔洞内部进行吹扫；步骤二：将步骤一吹扫后的部件放入异丙醇溶液中浸泡，再对部件表面、侧面台阶及孔洞周围进行擦拭；步骤三：对步骤二擦拭后的部件表面及孔洞进行冲洗；步骤四：将步骤三冲洗后的部件浸泡到清洗液，然后冲洗；步骤五：将经步骤四处理后的部件浸泡到KOH水溶液中，浸泡完成后进行清洗；步骤六：将经步骤五处理后的部件浸泡酸液中，浸泡完成后进行清洗；步骤七：将经步骤六处理后的部件浸泡到酸蚀液中，浸泡完成后进行清洗；步骤八：将经步骤七处理后的部件吹干，用雪花干冰清洗部件表面孔径；步骤九：将经步骤八处理后的部件放置于溢流装置中进行溢流，之后吹干；步骤十：将经步骤九处理后的部件进行超声处理，之后吹干；步骤十一：将经步骤十处理后的部件进行烘干，冷却，得到清洗干净的CVD ShowerHead。