双腔的基座匹配装置和基座匹配方法

专利主权项内容

1.一种双腔的基座匹配装置，所述双腔包括两个腔体，每个腔体中包括用于处理基片的上腔室、用于传输基片的下腔室、用于承载基片的基座，每个基座的底部设置有升降杆，所述基座由升降杆带动在所述上腔室和下腔室之间升降移动，其特征在于，包括状态检测装置和控制器，其中，每个基座的升降杆设置有所述状态检测装置，所述状态检测装置用于在外力驱动下带动所述升降杆升降，并且在所述基座的上升过程中检测所述基座是否到达隔离位置，在所述隔离位置，所述基座与腔体内的隔板相接触以使上腔室和下腔室相互流体隔离，每个基座的状态检测装置相互连接，以使每个所述基座同步升降；所述控制器被配置为：根据状态检测装置的检测结果判断每个基座是否到达其隔离位置；当每个基座均到达隔离位置后，根据状态检测装置的检测结果判断两个基座的高度是否匹配；其中，当两个基座的高度差达到预设范围内时，两个基座的高度匹配。