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一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器
摘要文本
本发明公开了一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器，属于半导体器件制造技术领域。紫外探测器从下而上依次包括：衬底层、AlN缓冲层、Al0.65Ga0.35N层、Al0.4Ga0.6N有源层、Al0.55Ga0.45N势垒层和金属电极层。本发明通过仅在一侧的电极与Al0.4Ga0.6N有源层之间插入Al0.55Ga0.45N势垒层，构成不对称的MSM结构，利用不同的势垒高度诱导能带弯曲，形成不对称的能带，显著促进光生载流子的分离和输运，从而解决了对称MSM结构探测器高功耗的问题，实现了自驱动特性。形成的不对称的异质结构，增强了Al0.4Ga0.6N层的极化场，进而增加光电流的产生，大幅度提高了0V下的响应度。此外，本发明的制造的外延结构螺位错密度较低，从而器件获得超低的暗电流，提高了器件的灵敏度。 数据由马 克 团 队整理
申请人信息
- 申请人:江南大学
- 申请人地址:214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
- 发明人: 江南大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311653005.X |
| 申请日 | 2023/12/5 |
| 公告号 | CN117673188A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L31/108 |
| 权利人 | 江南大学 |
| 发明人 | 杨国锋; 谷燕; 王博翔; 陈华志; 叶炳杰; 谢峰; 钱维莹; 张向阳; 张秀梅; 刘玉申; 陈国庆 |
| 地址 | 江苏省无锡市蠡湖大道1800号 |
专利主权项内容
1.一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器，其特征在于，所述自驱动日盲紫外探测器从下而上依次包括：衬底层、AlN缓冲层、异质结构层和金属电极层；其中，所述异质结构层包括三层高铝组分层：AlGaN缓冲层、AlGaN有源层和AlGaN势垒层；且所述自驱动日盲紫外探测器的一侧电极由三层高铝组分层中的AlGaN势垒层和金属电极层构成，另一侧电极仅由金属电极层构成。0.650.350.40.60.550.450.550.45