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基于边界感知SegFormer的晶圆目标分割方法
摘要文本
本发明公开了基于边界感知SegFormer的晶圆目标分割方法，属于数字图像处理技术领域。本发明提出自适应种子搜索策略，利用种子位置与目标定位精度的相关性构建种子分布热力图，并在热力图的引导下自适应搜索理想种子目标，实现阵列目标的高精度全局分割；边界感知SegFormer网络利用递归门控卷积强调特征的长距离和高阶空间交互，改进的门控残差边界细化模块能够学习更丰富的边缘信息，同时引入混合损失函数加强对区域内部和边缘像素的监督，引导网络更好地学习目标边缘特征，提高边界分割精度。本发明的分割方法能在背景不均、缺陷污染、边缘对比度低的高分辨率阵列目标图像中完整精确地分割目标，并具有较高的实时性。 来源：马 克 团 队
申请人信息
- 申请人:无锡九霄科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市滨湖区金融二街8号18楼
- 发明人: 无锡九霄科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于边界感知SegFormer的晶圆目标分割方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311347749.9 |
| 申请日 | 2023/10/18 |
| 公告号 | CN117409410A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | G06V20/70 |
| 权利人 | 无锡九霄科技有限公司 |
| 发明人 | 顾高升; 吴静静; 吕扬 |
| 地址 | 江苏省无锡市滨湖区金融二街8号18楼 |
专利主权项内容
1.一种晶圆阵列目标图像分割方法，其特征在于，所述方法包括：步骤1：采集晶圆阵列目标图像，将所述晶圆阵列目标图像分为m个区域，对每个区域R并行处理，i＝0, 1, …, m；i步骤2：采用自适应种子搜索策略在区域内搜索理想种子目标，所述自适应种子搜索策略包括：利用种子位置与目标定位精度的相关性构建种子分布热力图，并在热力图的引导下自适应搜索所述理想种子目标；步骤3：以每个理想种子目标为起点，预测所有目标的质心位置和矩形Mask，实现区域R内目标的全局分割；i步骤4：采用边界感知SegFormer网络对全局分割结果进行精确分割，得到所述晶圆阵列目标图像的分割结果。