一种单晶炉循环水冷装置
摘要文本
本发明属于单晶体制造技术领域，具体的说是一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体，所述炉体的上表面固定连接有炉盖，所述炉盖的上表面固定连接有连接管，所述炉盖的内部设置有水冷机构，所述水冷机构包括固定连接在炉盖内部的进水箱，所述进水箱的下表面固定连接有齿圈，所述齿圈的下表面固定连接有排水箱，所述排水箱和进水箱的表面均设置有定位管，所述齿圈的上表面转动连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的内部设置有多道第一滑槽，所述第一滑槽的内部均滑动连接有移动管，所述移动管的一端均固定连接有水冷柱，通过调节泵的输水压力并输水进入套管内部，即可以调节水冷柱的位置来对不同直径的单晶体进行快速冷却操作。
申请人信息
- 申请人:连城凯克斯科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号
- 发明人: 连城凯克斯科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种单晶炉循环水冷装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311574555.2 |
| 申请日 | 2023/11/23 |
| 公告号 | CN117779189A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | C30B27/00 |
| 权利人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 发明人 | 高树良; 周敏; 曹玉宝; 常红亮 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号 |
专利主权项内容
1.一种单晶炉循环水冷装置，该单晶炉包括炉体(1)，所述炉体(1)的上表面固定连接有炉盖(11)，所述炉盖(11)的上表面固定连接有连接管(12)，所述炉盖(11)的内部设置有水冷机构，其特征在于：所述水冷机构包括固定连接在炉盖(11)内部的进水箱(211)，所述进水箱(211)的下表面固定连接有齿圈(2)，所述齿圈(2)的下表面固定连接有排水箱(222)，所述排水箱(222)和进水箱(211)的表面均设置有定位管(213)，所述齿圈(2)的上表面转动连接有第一锥齿轮(21)，所述第一锥齿轮(21)的内部设置有多道第一滑槽(22)，所述第一滑槽(22)的内部均滑动连接有移动管(23)，所述移动管(23)的一端均固定连接有水冷柱(24)，所述水冷柱(24)的内部均固定连接有螺旋管(25)，所述移动管(23)的圆周面设置有滑杆(220)，所述进水箱(211)的表面固定连接有多个套管(215)，所述套管(215)之间固定连接有环形管(235)，所述套管(215)的内部滑动连接有活塞杆(217)，所述活塞杆(217)的一端固定连接有锥形盘(218)，且锥形盘(218)的内圆周面和滑杆(220)的一端相贴合，所述炉体(1)的外侧壁固定连接有循环水箱(224)，所述循环水箱(224)的上表面固定连接有调节泵(225)，所述调节泵(225)的输出端设置有输水机构，所述炉体(1)的外侧壁固定连接有驱动壳(228)，所述输水机构用于输水进入驱动壳(228)，并通过驱动壳(228)将水输送至进水箱(211)和套管(215)中，以及还可以储存排水箱(222)中排出的水。 搜索马 克 数 据 网