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一种连续加料式单晶炉

申请号: CN202311721789.5
申请人: 连城凯克斯科技有限公司
申请日期: 2023/12/14

摘要文本

本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种连续加料式单晶炉,包括炉体,炉体的侧壁活动安装有密封上料仓,密封上料仓包括活动安装在炉体侧壁的外壳,外壳的内部固定安装有过滤仓滚动安装在过滤仓的中心底端的动力圆柱;固定安装在动力圆柱外壁的放置板,放置板的内部设置有多个放置槽,放置槽的内部设置有可移动的第一过滤板;固定安装在过滤仓内壁的第一隔离板和第二隔离板,本发明通过过滤仓内部的第二过滤板和第一过滤板对多晶硅材料进行筛选,从而筛选出大小相似的多晶硅材料,使得上料均匀,从而降低上料前后温度差异的波动,而运料管内部的第二动力柱和运料页实现均匀上料的效果,提高单晶炉内部的温度稳定性。。关注公众号专利查询网

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种连续加料式单晶炉
专利类型 发明申请
申请号 CN202311721789.5
申请日 2023/12/14
公告号 CN117661112A
公开日 2024/3/8
IPC主分类号 C30B29/06
权利人 连城凯克斯科技有限公司
发明人 王晓辉; 李军; 李方; 孔德东; 蒋林
地址 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号

专利主权项内容

1.一种连续加料式单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)的顶端固定安装有拉晶管(12),所述炉体(1)的顶端固定安装有炉盖(11),其特征在于:所述炉体(1)的侧壁活动安装有密封上料仓(2),所述密封上料仓(2)包括活动安装在炉体(1)侧壁的外壳(21),所述外壳(21)的内部固定安装有用于筛选多晶硅的过滤仓(3);所述过滤仓(3)包括:滚动安装在过滤仓(3)的中心底端的动力圆柱(318);固定安装在动力圆柱(318)外壁的放置板(33),所述放置板(33)的内部设置有多个放置槽(32),所述放置槽(32)的内部设置有可移动的第一过滤板(34);开设在放置板(33)内部用于滑动第一过滤板(34)的过滤板滑槽(331);固定安装在过滤仓(3)内壁的第一隔离板(31)和第二隔离板(312),所述第一隔离板(31)和第二隔离板(312)与放置板(33)的顶端外壁和底端外壁贴合;固定安装在第一过滤板(34)侧壁的弹簧(35),所述第一过滤板(34)的底端固定安装有第一凸起(341);固定安装在第二隔离板(312)底端用于连通炉体(1)和过滤仓(3)的运料管(4)。