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一种单晶炉泄压调节设备
摘要文本
本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是一种单晶炉泄压调节设备，包括主炉室；所述主炉室顶面固连有副室；所述副室的顶面安装有上炉筒；所述副室用分隔主炉室和上炉筒；所述主炉室的底面固连有下炉室；所述主炉室的底面开设有一对排气孔；所述排气孔内设置有顶杆；所述下炉室内部的底面于顶杆对应位置处固连有套筒；所述套筒的内部安装有压强传感器，且压强传感器与外部微电脑连接，用于控制外部气压组件；所述顶杆的表面固连有密封圈；通过主炉室内的气体会挤压顶杆，进而使顶杆挤压套筒内的气体，使得套筒的内压强增大，并被压强传感器检测到后，控制排气孔开启，使得主炉室内激增的气体，得以被抽入下炉室内，进而完成对主炉室的泄压。
申请人信息
- 申请人:连城凯克斯科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号
- 发明人: 连城凯克斯科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种单晶炉泄压调节设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311530683.7 |
| 申请日 | 2023/11/16 |
| 公告号 | CN117702250A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | C30B15/20 |
| 权利人 | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 发明人 | 高树良; 李小锋; 曹玉宝; 周敏; 张怿; 常红亮 |
| 地址 | 江苏省无锡市锡山区锡北泾虹路15号 |
专利主权项内容
1.一种单晶炉泄压调节设备，其特征在于：包括主炉室(1)；所述主炉室(1)顶面固连有副室(2)；所述副室(2)的顶面安装有上炉筒(3)；所述副室(2)用分隔主炉室(1)和上炉筒(3)，且可对主炉室(1)的顶部进行封堵；所述主炉室(1)的底面固连有下炉室(4)；所述主炉室(1)的底面开设有一对排气孔(5)；所述排气孔(5)内设置有顶杆(6)；所述下炉室(4)内部的底面于顶杆(6)对应位置处固连有套筒(7)，且套筒(7)与外部气压组件相连接；所述套筒(7)的内部安装有压强传感器，且压强传感器与外部微电脑连接，用于控制外部气压组件；所述顶杆(6)的表面固连有密封圈(8)；所述外部气压组件用于向套筒(7)内部通入气体，从而推动顶杆(6)向着主炉室(1)运动，并使顶杆(6)表面的密封圈(8)封堵住排气孔(5)；所述下炉室(4)与外部真空泵连接。